氧化铟锡(ITO)薄膜是一种显示行业比较常见的透明导电材料

ITO膜结构

这边主要讲的是ITO透明导电膜，是触摸屏行业的核心材料之一，常见的结构如下：

从上到下，最上面是一层保护ITO层，ITO厂家防止在包装出货过程中划伤ITO镀层的作用，ITO的加工厂家在使用前都要去掉这层保护膜。保护膜多为价格相对便宜的PE保护膜。

ITO层是主要的功能层，镀层有很多种生产工艺，但是光电行业多使用磁控溅镀的工艺，镀膜一般是镀多层，一层是几千个埃，市场上ITO层厚度是从20到50纳米之间。在溅射过程中，从靶材中轰击出的金属In、Sn原子在真空室内或衬底表面与氧原子反应并生成In2O3、InO、SnO2、SnO和Sn3O4等金属氧化物，这些反应产品与溅射工艺参数有密切关系并对ITO薄膜的光电特性产生影响。

UC层是光学性能调节层，也可以叫消影层，或者也叫IM层，折射率匹配层，还可以做防牛顿环的镀层。由于ITO层和PET层的折射率不一样，光线透过不同折射率的材料，相差越大，反射率越高，这个会导致后面ITO蚀刻后，线路的痕迹很明显，影响屏幕的外观，所以需要涂布一层折射率匹配层。需要如下图在ITO面与消影面的光线反射率接近，小于1%，这样才不会出现下图左边的不良。这个涂层的精密涂布要求比较高，现在能做的好的多是日本的企业，而很多ITO膜厂，干脆就购买IM膜。

往下就是光学级的基材PET，常见的厚度是188,125,50um的。需要好的透光率，低的雾度，稳定的尺寸，小的MDTD经纬向的差异，以及少的小分子析出。

PET基材的另外一面就是Hard Coating加硬涂层，防止ITO加工过程中被划伤，一般就是一些二氧化硅的涂层，可以防止PET小分子的析出，铅笔硬度在2H左右。

最下面的耐高温的PET保护膜，这个是可选择的一层，一般都是卷对卷工艺生产触摸屏的客户需要这一层，背面的保护膜需要耐ITO缩水和退火的工艺，150度2小时左右，保持尺寸稳定的同时，需要和ITO基材的PET保持接近的涨缩，否则非常容易引起材料的卷曲，从而引起不良。

ITO特性

ITO的主要成分是氧化铟和氧化锡，它是高可见光透过率的物质。

ITO在紫外线，可见光和红外线的波长频率上，有不同的透光率，主要是透过可见光，而UV紫外和IR红外的穿透都不高。这个特性和ITO材料的微观的电子能级跃迁等电性能有关，而不是涂布什么材料。

另外ITO的透光率和材料的结晶度有关，以前还会用非结晶的ITO出售，现在基本上厂家就可以做好退火的工艺，结晶后的ITO透光率会升高，电阻会稳定且电阻公差范围大幅度的缩小。

ITO的生产中一般会进行如下性能的管控。IQC的进料检验IM膜，工艺中管控的项目，以及出货的建议项目：

出货的时候，一般使用如下的规格：

而在TP厂一般会验证如下的典型的参数：

ITO的替代品

ITO膜是一个很成熟的行业，由于以前TP行业够大，所以有很多的透明导电材料想替代它，包括金属网格，纳米银，导电高分子，碳纳米管以及石墨烯等，但是各种方案目前各自有各自的问题。

ITO的市场

由于现在GF和GFF的薄膜电容式触摸屏的大量减产，无数的深圳东莞附近的厂关闭了，包括欧菲合力泰等也一直在亏损的经营这一个业务，所以整体行业的萧条，导致整个ITO膜行业也是步履维艰，再加上新的替代方案虎视眈眈。由于ITO的面电阻量产的话，更低可以做到60欧姆，勉强可以做大尺寸，但是由于电阻偏高，导致触控的灵敏等性能不如其他低电阻的透明材料，所以大尺寸也用的很少，另外ITO本身比较脆，不耐弯折，所以在可折叠的这个新兴市场上基本上就是排除在外了，所以这2个因素也造成了ITO的市场不能进一步扩大，而ITO可能可以拓展一下的楼宇上用的变色膜，汽车上用的加温膜，市场也没有很大的起色。整体上市场需求已经不大会增大了。

因此现在做ITO膜的厂家已经很少了，目前好像就只有江苏日久一家独大，整合上游IM膜，充分压低价格。而曾经这是一个多么繁荣的行业啊，比如日东，住友，TDK，铃寅，尾池，SONY，韩华，迎辉，康得新，欧菲，嵩阳……